Ψεκάζοντας στόχος τιτανίου που χρησιμοποιείται στη βιομηχανία ημιαγωγών
Οι ψεκάζοντας στόχοι τιτανίου χρησιμοποιούνται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών για την απόθεση των λεπτών ταινιών στις γκοφρέτες πυριτίου. Οι λεπτές ταινίες χρησιμοποιούνται στην κατασκευή των μικροηλεκτρονικών συσκευών, όπως οι κρυσταλλολυχνίες, οι δίοδοι, και τα ολοκληρωμένα κυκλώματα. Εδώ είναι μερικοί συγκεκριμένοι τρόποι με τους οποίους οι ψεκάζοντας στόχοι τιτανίου χρησιμοποιούνται στη βιομηχανία ημιαγωγών:
Ηλεκτρόδια πυλών: Οι ψεκάζοντας στόχοι τιτανίου χρησιμοποιούνται για να καταθέσουν τις λεπτές ταινίες του τιτανίου επάνω στις γκοφρέτες πυριτίου για να δημιουργήσουν τα ηλεκτρόδια πυλών field-effect μέταλλο-οξείδιο-ημιαγωγών στις κρυσταλλολυχνίες (MOSFETs). Αυτά τα ηλεκτρόδια πυλών χρησιμοποιούνται για να ελέγξουν τη ροή του ηλεκτρικού ρεύματος MOSFETs.
Διασυνδέει: Οι ψεκάζοντας στόχοι τιτανίου χρησιμοποιούνται για να καταθέσουν τις λεπτές ταινίες του τιτανίου επάνω στις γκοφρέτες πυριτίου που δημιουργούν διασυνδέουν στα ολοκληρωμένα κυκλώματα. Αυτοί διασυνδέουν χρησιμοποιούνται για να συνδέσουν τα διαφορετικά συστατικά των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και είναι ουσιαστικοί για τη λειτουργία τους.
Εμπόδια διάχυσης: Οι ψεκάζοντας στόχοι τιτανίου χρησιμοποιούνται για να καταθέσουν τις λεπτές ταινίες του νιτριδίου τιτανίου (κασσίτερος) επάνω στις γκοφρέτες πυριτίου για να δημιουργήσουν τα εμπόδια διάχυσης στα ολοκληρωμένα κυκλώματα. Αυτά τα εμπόδια διάχυσης χρησιμοποιούνται για να αποτρέψουν τη διάχυση των μετάλλων στο πυρίτιο, το οποίο μπορεί να προκαλέσει την υποβάθμιση απόδοσης και την αποτυχία των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.
Χαράξτε τις μάσκες: Οι ψεκάζοντας στόχοι τιτανίου χρησιμοποιούνται για να καταθέσουν τις λεπτές ταινίες του τιτανίου επάνω στις γκοφρέτες πυριτίου που δημιουργούν χαράζουν τις μάσκες. Αυτοί χαράζουν τις μάσκες χρησιμοποιούνται για να προστατεύσουν τις συγκεκριμένες περιοχές των γκοφρετών πυριτίου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας χαρακτικής, η οποία χρησιμοποιείται για να δημιουργήσει τα συγκεκριμένα σχέδια και χαρακτηρίζει στα ολοκληρωμένα κυκλώματα.
Εν περιλήψει, οι ψεκάζοντας στόχοι τιτανίου είναι ουσιαστικά υλικά στη βιομηχανία ημιαγωγών και χρησιμοποιούνται για ένα ευρύ φάσμα των εφαρμογών, συμπεριλαμβανομένων των ηλεκτροδίων πυλών, διασυνδέουν, εμπόδια διάχυσης, και χαράζουν τις μάσκες.